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プローブカード
プローブカード
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高周波対応プローブカード
同軸構造を持った針、及び高周波対応プリント基板を使用することで、ウエハレベルでの高周波測定を実現させます。標準化した部材を使用し、低価格・短納期でのご対応が可能です。特殊品につきましては、専用の針・基板を製作し、様々なニーズにお応えいたします。![](https://toho-inc.com/toho/wp-content/uploads/2019/10/img_03.jpg)
高電圧・大電流
特殊合金を使用する事で大電流に対応するプローブカードです。素材の性質上、大電流を流した時の表面酸化が他の針に比べ起こりにくく、低い接触抵抗を維持する事で安定した測定(クリーニング頻度の見直しが可能)及びライフの向上が望めます。![](https://toho-inc.com/toho/wp-content/uploads/2019/10/img_04.jpg)
スプリングピンカード
スプリングピンを使用した垂直型のプローブカードです。コンタクトするパッドに適した先端形状、材質をご提供できます。
構造上ピン単体での交換が可能になりますので、修理にかかるコスト低減を実現できます。
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垂直カード
極細プローブを使用した垂直型のプローブカードです。コンタクトするパッドに最適な材質のプローブを選択いただけます。
特殊な配置のパッド、多数個測定、極小パッドなど、針のスベリを抑えたいデバイスに適しています。
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カスタム品
弊社の温度センサーとカンチレバー型のプローブカードを組み合わせたオリジナル製品です。針の種類は、パッドの材質により適した材質に選択可能です。高温測定時の実際のデバイスの温度確認、ウェハ上の温度分布の測定など様々なニーズに対応させていただきます。
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