プローブカード

一般的な片持ち梁（Cantilever）タイプのプローブカードです。狭ピッチ（単列40μmまで）、多層針立て、高低温測定、マルチ測定化等様々なデバイスの測定に対応いたします。またプリント基板の設計、開発～プローブカードまで一貫した生産を行うことで短納期、ローコスト化を実現しております。

同軸構造を持った針、及び高周波対応プリント基板を使用することで、ウエハレベルでの高周波測定を実現させます。標準化した部材を使用し、低価格・短納期でのご対応が可能です。特殊品につきましては、専用の針・基板を製作し、様々なニーズにお応えいたします。

特殊合金を使用する事で大電流に対応するプローブカードです。素材の性質上、大電流を流した時の表面酸化が他の針に比べ起こりにくく、低い接触抵抗を維持する事で安定した測定(クリーニング頻度の見直しが可能)及びライフの向上が望めます。

スプリングピンを使用した垂直型のプローブカードです。
コンタクトするパッドに適した先端形状、材質をご提供できます。
構造上ピン単体での交換が可能になりますので、修理にかかるコスト低減を実現できます。

極細プローブを使用した垂直型のプローブカードです。
コンタクトするパッドに最適な材質のプローブを選択いただけます。
特殊な配置のパッド、多数個測定、極小パッドなど、針のスベリを抑えたいデバイスに適しています。

弊社の温度センサーとカンチレバー型のプローブカードを組み合わせたオリジナル製品です。針の種類は、パッドの材質により適した材質に選択可能です。
高温測定時の実際のデバイスの温度確認、ウェハ上の温度分布の測定など様々なニーズに対応させていただきます。

特殊加工によるごみ付着を軽減することで歩留りの向上や接触性の安定、また小パッド品やCUP品（Circuit under pad）に最適な低針圧プローブ等お客様のニーズにお応えできる特殊プローブをご用意しております。

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