★展示会出展のお知らせ★
半導体業界に精度をアピール
精度が求められる半導体業界。
本展示会では半導体の精度は、”温度”と”接触”で決まる。をコンセプトにし、
温度調節器事業とプローブカード事業が合同出展。
温度センサとプローブカードを中心に、精度に自信を持った製品を展示します。
また、2事業の融合技術として、開発中の温度センサ内蔵プローブカードを参考展示！
温度のプロだからこそできるソリューションを、この機会にぜひご覧ください。
【出展製品】
1.温度センサ
2.温度調節計
3.プローブカード
4.無線センサネットワーク
【みどころ】クリックして詳細をご覧ください！
温度センサ
微小領域に！
極細シースセンサ
体験型展示
Φ0.15とΦ0.25を展示。
顕微鏡をのぞいて、細さを実感してください！
極細なので、熱伝導による測定誤差（熱引き）も抑制。
従来困難だった微小領域の温度プロファイル取得に対応します！
配管に！
インラインセンサ
配管に直接組み込めるインライン構造。
各種配管・接手に対応し、高い互換性！
リアルタイム計測で、プロセスの安定化に貢献します。
薬液や腐食環境に！
フッ素樹脂モールドセンサ
フッ素樹脂モールドで高い耐薬品性を実現！
使用薬液や温度帯・寿命ニーズに応じてお選びいただけます。
カスタム対応で、課題に合わせて最適提案します！
プローブカード
ウエハ表面温度を計測！
温度センサ内蔵型（開発中！）
「温度の東邦電子」だからこそできる、精緻な技術の融合。
ウエハ表面の温度をダイレクトに計測します。（～200℃）
通常のカンチレバー型プローブカードに組み込み対応可能。
この機会にぜひ、ご覧ください！
特許取得！28GHz測定！
高周波測定用
低損失/低反射を実現（～28GHｚ）！
テスト現場でプローブ交換も可能です。
コンタクト回数100万回以上、
フラット精度10μｍ以内を実現しました。
プローブピッチもカスタマイズ可能です。
使い勝手がいい！
垂直型
ユーザーレベルでピン交換可能！
マルチレイアウトに対応したプローブカードです。
針滑りがないことで、小パッドにも対応可能です。
特殊合金針で課題解決！
パワーデバイス用
高電圧/大電流測定を可能にしたパワーデバイス用。
独自開発の特殊合金針を使い、接触抵抗低減ライフ改善を期待！
SiC測定向けに、加圧プローブカードの対応も可能です。
測定対象に合わせたカスタム！
各種半導体センサ用
イメージセンサ・磁気センサ・圧力センサなど、各種半導体センサ用。
独自開発の特殊合金針を使って課題解決！
測定対象に合わせてカスタム可能です。
ぜひご相談ください。
★展示会開催概要★
・SEMICON JAPAN2026
会期：12月9日（水）～12 月11日（金）
会場：東京ビッグサイト 小間番号: W3425
